Bosch produzierte 100 Mio. mikromechanischen Sensoren

Mikromechanische Sensoren, international auch unter dem Kürzel MEMS bekannt (Micro-Electro-Mechanical-Systems), sind ein Ergebnis der Miniaturisierung in der Mechanik. Dieser in der Öffentlichkeit kaum wahrgenommene Miniaturisierungsprozess setzte einige Jahre später ein als der Trend zur Mikroelektronik. Hier wie dort ist die Siliziumtechnologie wichtigstes Herstellungsverfahren: MEMS-Sensoren sind nur wenige Quadratmillimeter groß, ihre mechanischen Strukturen haben Federn, Balken, Gewichte und Membranen mit Abmessungen in der Größenordnung von tausendstel Millimetern. Die winzige Sensorik erfasst mechanische Messgrößen wie Druck, Beschleunigung, Drehrate, Pegelstand oder Massendurchfluss. Mit auf dem Chip untergebracht ist die Analog- oder Digitaltechnik zum Auswerten und Aufbereiten des gemessenen Signals.

Sensoren sind die Wahrnehmungsorgane elektronischer Steuergeräte in modernen Fahrzeugen. Unter anderem messen sie den Druck bei der Kraftstoff-Direkteinspritzung, erkennen den Füllstand von Kraftstofftanks, sondieren die Beschaffenheit des Motoröls, lösen zum richtigen Zeitpunkt Airbags aus und lassen beim Umkippen eines Cabrios automatisch den Überrollbügel ausfahren. MEMS-Sensoren erledigen diese Aufgaben besser als konventionelle Sensoren denn sie sind präziser, kleiner, leichter, wirtschaftlicher und zuverlässiger. Ohne MEMS-Sensoren hätten wichtige fahrzeugtechnische Innovationen wie das Elektronische Stabilitäts-Programm ESP® nicht den großen Funktionsumfang, die hohe Zuverlässigkeit und den günstigen Preis wie heute. Ziel dieser allgegenwärtigen Sensorik: Autofahren soll – im Sinne des 3-S-Programms von Bosch – so sicher, sauber und sparsam sein, wie es nach dem Stand der Technik möglich ist.

In der Entwicklung und Fertigung von Sensoren zählt Bosch zu den Unternehmen mit der größten Erfahrung. Bosch forschte bereits Mitte der 80er Jahre auf dem Gebiet und produziert seit 1995 MEMS-Sensoren in Serie. Diese langjährige Erfahrung ist Basis für den wirtschaftlichen Erfolg – der Automobilzulieferer ist im Teilmarkt der MEMS-Sensoren Weltmarktführer.